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白光干涉儀具有測量準(zhǔn)確度高等諸多優(yōu)勢

更新時間:2022-05-19  |  點擊率:951
  白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
 
  白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
 
  目前儀器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
 
  產(chǎn)品優(yōu)勢:
  1、美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件。
  2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等。
  3、PI納米移動平臺及控制系統(tǒng)。
  4、Nikon干涉物鏡。
  5、NI信號控制板和Labview64 控制軟件。
  6、TMC光學(xué)隔振臺。
  7、測量準(zhǔn)確度重復(fù)性達到不錯的水平。
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