高精度主動減振平臺產(chǎn)品介紹：

在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀納米技術(即先進的半導體代表相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產(chǎn)), 振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。

在納米技術中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。

先進的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。

裝載設備：

掃描電子顯微鏡，如 AFM 3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統(tǒng)，顯微硬度測量儀，醫(yī)療檢測設備等。

高精度主動減振平臺特點：

1、在全部的6個自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能。

2、當儀器裝載時，高度調(diào)整會自動進行。

3、即使當負載偏離中心時，自動調(diào)平功能也能保持水準。當高重心的儀器被加載時，給予穩(wěn)定性。

4、通過按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。

5、前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實際振動水平。

6、主動隔振也可以通過使用可選的遠程控制箱來從外部啟用或禁用。(單獨出售) 有關詳情，請與我們聯(lián)系。

TS應用案例

Herz系列產(chǎn)品創(chuàng)建穩(wěn)定的測量環(huán)境

支持改善TS的隔振性能

主動式隔振系統(tǒng)控制水平和垂直方向20μm的振動振幅。如果工作臺或桌面不夠堅硬，TS系列產(chǎn)品的隔振性能將會降低，或者振動會放大。我們提供具有內(nèi)置阻尼功能的剛性框架，以實現(xiàn)TS系列產(chǎn)品的理想性能。

帶有鉆孔和螺紋孔的安裝板

此安裝板由磁鐵不銹鋼和鋁制成。定制的鉆孔位置可以根據(jù)要求提供。