EVG晶圓鍵合機(jī)參數(shù)

 EVG501-晶圓鍵合機(jī) 先進(jìn)封裝 TSV 微流控加工

基本功能：用于學(xué)術(shù)和工業(yè)研究的多功能手動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng)。

適用于：微流體芯片，半導(dǎo)體器件處理，MEMS制造，TSV制作，晶圓先進(jìn)封裝等。

一、簡介

EVG鍵合機(jī)EVG501是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)（晶圓鍵合機(jī)），可處理從單芯片到150 mm(200 mm鍵合室的情況下為200 mm)的基片。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，如陽極，玻璃料，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接鍵合。易于操作的鍵合室和工具設(shè)計(jì)，讓用戶能快速，輕松地重新裝配不同的晶圓尺寸和工藝，轉(zhuǎn)換時(shí)間小于5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)。鍵合室的基本設(shè)計(jì)在EVG的HVM(量產(chǎn))工具上是相同的，例如GEMINI，鍵合程序很容易轉(zhuǎn)移，這樣可以輕松擴(kuò)大生產(chǎn)量。

二、EVG501-晶圓鍵合機(jī)特征

帶有150 mm或200 mm加熱器的鍵合室

*的壓力和溫度均勻性

與EVG的機(jī)械和光學(xué)對準(zhǔn)器兼容

靈活的設(shè)計(jì)和研究配置

從單芯片到晶圓

各種工藝(共晶，焊料，TLP，直接鍵合)

可選渦輪泵(<1E-5 mbar)

可升級(jí)陽極鍵合

開放式腔室設(shè)計(jì)，便于轉(zhuǎn)換和維護(hù)

兼容試生產(chǎn)需求：

同類產(chǎn)品中的低擁有成本

開放式腔室設(shè)計(jì)，便于轉(zhuǎn)換和維護(hù)

小占地面積的200 mm鍵合系統(tǒng)：0.8㎡

程序與EVG HVM鍵合系統(tǒng)*兼容

晶圓鍵合機(jī)日常維護(hù)：
1、清潔保養(yǎng)：定期清潔設(shè)備表面、傳動(dòng)系統(tǒng)和操作界面，保持設(shè)備外部清潔。清理設(shè)備內(nèi)部的積塵和異物，確保設(shè)備運(yùn)行暢通。

2、潤滑維護(hù)：定期對設(shè)備的傳動(dòng)部件進(jìn)行潤滑保養(yǎng)，確保傳動(dòng)系統(tǒng)的良好運(yùn)轉(zhuǎn)。注意使用適合設(shè)備的潤滑油或潤滑脂。

3、看護(hù)設(shè)備：定期檢查設(shè)備的各個(gè)部件和傳感器是否正常工作，確保設(shè)備的各項(xiàng)功能正常。及時(shí)更換損壞的零部件。

4、校準(zhǔn)調(diào)試：定期對設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)試，保證設(shè)備的精度和穩(wěn)定性。校準(zhǔn)設(shè)備的位置、力度、溫度等參數(shù)。

5、定期維護(hù)：按照設(shè)備的維護(hù)手冊或廠家建議的維護(hù)周期進(jìn)行定期保養(yǎng)和維護(hù)工作，如更換濾網(wǎng)、清潔光學(xué)系統(tǒng)等。

6、培訓(xùn)操作人員：培訓(xùn)設(shè)備操作人員正確的操作流程和維護(hù)方法，提高操作人員的技能和意識(shí)，減少設(shè)備的誤操作和損壞。

以上是晶圓鍵合機(jī)的一些日常維護(hù)工作建議，希望對您有所幫助。如果您有具體的維護(hù)問題或需要更詳細(xì)的維護(hù)指導(dǎo)，請咨詢設(shè)備的廠家或技術(shù)支持部門。