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全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)及分選機(jī)

簡(jiǎn)要描述：Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器，搭配標(biāo)準(zhǔn)真空吸附晶圓載臺(tái)，Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對(duì)射傳感器，搭配符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三點(diǎn)支撐水平載臺(tái)，兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運(yùn)動(dòng)模組和晶圓機(jī)械手，滿(mǎn)足亞微米級(jí)的形 貌測(cè)量需求，可選裝配電阻率測(cè)試模塊，滿(mǎn)足更多樣化的量測(cè)需求，適應(yīng)更多的晶圓制程。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：Orzew FC20/FC20X
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時(shí)間：2024-03-19
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量： 3161

產(chǎn)品分類(lèi)

Product Category

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詳細(xì)介紹

多種測(cè)量能力


•形貌測(cè)量


•晶圓分選


•電阻率測(cè)量


•關(guān)鍵尺寸檢測(cè)


自由選擇適配的測(cè)量方式

•Dymek Orzew FC20使用無(wú)接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器，搭配標(biāo)準(zhǔn)真空吸附晶圓載臺(tái)

•Dymek Orzew FC20X使用無(wú)接觸式點(diǎn)光譜共焦對(duì)射傳感器，搭配符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三點(diǎn)支撐水平載臺(tái)

•兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運(yùn)動(dòng)模組和晶圓機(jī)械手，滿(mǎn)足亞微米級(jí)的形貌測(cè)量需求

•可選裝配電阻率測(cè)試模塊，滿(mǎn)足更多樣化的量測(cè)需求，適應(yīng)更多的晶圓制程  



可實(shí)現(xiàn)的測(cè)量?jī)?nèi)容.png


可測(cè)量的晶圓類(lèi)型.png



厚度分布熱力圖和三維面型

•具備4，6，8寸晶圓檢測(cè)能力（12寸可選）

•全自動(dòng)輸出測(cè)量結(jié)果

•自定義電阻率檢測(cè)輸出方式



屏幕截圖 2024-02-19 144536.png




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