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接近式光刻機的使用原理及性能指標
2024-09-09

大家也許還不是非常的清楚,光刻機的種類有非常的多,其中的技術(shù)原理也不盡相同,下面就由我來給大家簡單介紹一下有關(guān)接近式光刻機的使用原理及性能指標。接近式光刻機的使用原理:其實在我國對于接近式光刻機,曝光時掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點...

  • 2020-11-02

    美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀特殊功能優(yōu)點:1、*封閉的設(shè)計,溫度更穩(wěn)定。2、特殊的設(shè)計使震動偏移降到較低。3、圖形式使用界面更容易使用。4、當(dāng)改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動重新計算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。6、可以計算應(yīng)力的均勻性。7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel,提供給SPC分析。8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研...

  • 2020-10-30

    StrainScopeFlex可調(diào)式實時應(yīng)力儀產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點,對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶遍及*,用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。Flex系列可調(diào)式實時應(yīng)力儀主要產(chǎn)品有三大系列:M系列高精度型;S系列實時型;M系列大口徑拼接型1、單口徑一次成像。測量時間<45s,測量速度快。2、空間分辨率高,低噪聲。3、操作方...

  • 2020-10-26

    FilmSenseFS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設(shè)計,使用壽命大于5000小時,同時FS-1的設(shè)計結(jié)構(gòu)沒有轉(zhuǎn)動部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性。總的來講,F(xiàn)S-1是一臺簡單易用的緊湊型設(shè)計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。FilmSense橢偏儀的優(yōu)點:1、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護。2、測量精度只有用本儀器才能達到。3、快速多次測量(多波長數(shù)據(jù)在10毫秒)且長期可靠性。4、長壽命(50000小時),不用頻繁更換昂貴的燈泡,或定時校正或周期維護。5、器對薄膜Δ參數(shù)相位差極...

  • 2020-10-22

    Herz氣浮式被動隔振臺采用了先進的減振技術(shù),其技術(shù)參數(shù)和減振效果如下:Herz氣浮式被動隔振臺技術(shù)參數(shù):1、減振方式:垂直方向-HERZ減振空氣彈簧,水平方向-Herz高性能水平振動隔離系統(tǒng);2、空氣彈簧數(shù):4-6;3、阻尼方式:垂直方向通過節(jié)流孔進行空氣阻尼,水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼;4、固有頻率:垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等大重量時);5、調(diào)平方式:帶有3個機械式自動調(diào)平傳感器;6、供氣方式:需要外部氣源;7、所需氣壓:0.3~0.7MP...

  • 2020-10-19

    美國Microsense位移傳感器具有一系列顯著的特點,使其在各種應(yīng)用場合中表現(xiàn)出色。以下是關(guān)于Microsense位移傳感器特點的一些詳細介紹:1.高準確性與靈敏性:該傳感器具備高準確性的測量能力,其高精度可達0.5nm,這使得它在需要精確測量的場合中表現(xiàn)出色。此外,它的高靈敏性也確保了即使在微小的位移變化下,也能產(chǎn)生明顯的信號響應(yīng)。2.優(yōu)化的近距離測量:Microsense位移傳感器特別適用于近距離測量,其測量距離在10微米到5毫米之間,這使得它在微小物體或結(jié)構(gòu)的位移測量...

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